QB/T 4540-2013 超高压短弧汞灯

本标准规定了超高压短弧汞灯的型号命名、主要尺寸、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输及储存。
本标准适用于光刻、光固化、老化试验等设备中的曝光用直流超高压短弧汞灯。