标准编号：YS/T 27-1992
标准名称：晶片表面上微粒沾污测量和计数的方法
发布部门：中国有色金属工业总公司
起草单位：上海第二冶炼厂
发布日期：1992-03-09
实施日期：1993-01-01
标准状态：作废
标准格式：PDF
文件大小：96.99 KB
内容简介
本标准规定了应用显微技术，测量在平坦与不平坦的表面上沾有粒径大于5μm的微粒的方法，并统计一定粒径范围内的微粒数量。本标准适用于分析小型电子器件零部件的表面，也适用于检验硅片表面。
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