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YS/T 718-2009 平面磁控溅射靶材 光学薄膜用铌靶

标准编号:YS/T 718-2009
标准名称:平面磁控溅射靶材 光学薄膜用铌靶
英文名称:Flat magneting sputtering target—Niobium target for optical coating
发布部门:中华人民共和国工业和信息化部
起草单位:金川集团有限公司
标准状态:现行
发布日期:2009-12-04
实施日期:2010年6月1日
标准格式:PDF
内容简介
本标准规定了平面磁控溅射光学薄膜用铌靶材的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及订货单(或合同)内容。
本标准适用于平面磁控溅射光学薄膜用铌靶材。
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