标准编号：JB/T 8945-2010
标准名称：真空溅射镀膜设备
英文名称：Vacuum sputtering coating plant
发布部门：工业和信息化部
起草单位：广东中环真空设备有限公司、成都南光机器有限公司、大连远东真空技术有限公司、沈阳真空技术研究所
标准状态：现行
发布日期：2010-02-11
实施日期：2010年7月1日
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了真空溅射镀膜设备的基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。
本标准适用于压力在1×10-1Pa～1×10-3Pa范围的真空溅射镀膜设备。
本标准适用于压力在1×10-1Pa～1×10-3Pa范围的真空溅射镀膜设备。
下载地址