标准编号：JB/T 6922-2015
标准名称：真空蒸发镀膜设备
英文名称：Vacuum evaporation coating plant
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
起草单位：中山凯旋真空技术工程有限公司、湖南玉丰真空科学技术有限公司、东莞劲胜精密组件股份有限公司、肇庆市科润真空设备有限公司、东莞市汇成真空科技有限公司、大连远东真空技术有限公司、沈阳真空技术研究所
标准状态：现行
发布日期：2015-10-10
实施日期：2016-03-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了真空蒸发镀膜设备的型号、形式和基本参数﹑技术要求﹑试验方法﹑检验规则及标志﹑包装﹑运输﹑贮存等要求。
本标准适用于极限压力在5×10-4 Pa～5×10-3 Pa范围内的真空蒸发镀膜设备。
本标准适用于极限压力在5×10-4 Pa～5×10-3 Pa范围内的真空蒸发镀膜设备。
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