标准编号：JB/T 12585-2016
标准名称：真空技术 磁悬浮分子泵
英文名称：Vacuum technology-Magnetic levitated turbomolecular pump
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
起草单位：北京中科科仪股份有限公司、合肥智海光电技术有限公司、川北真空科技(北京)有限公司、东莞劲胜精密组件股份有限公司、沈阳真空技术研究所
标准状态：现行
发布日期：2016-01-15
实施日期：2016-06-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了磁悬浮分子泵的型式和基本参数，技术要求，测试方法，检验规则，标志、包装、运输和贮存等。
本标准适用于具有前级泵的磁悬浮分子泵。
本标准适用于具有前级泵的磁悬浮分子泵。
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