标准编号：JJF 1613-2017
标准名称：掠入射X射线反射膜厚测量仪器校准规范
英文名称：Calibration Specification for Thin Film Thickness Measurement Instruments by Grazing Incidence X-Ray Reflectivity
发布部门：国家质量监督检验检疫总局
起草单位：中国计量科学研究院、常州市计量测试技术研究所
标准状态：现行
发布日期：2017-02-28
实施日期：2017-05-28
标准格式：PDF
内容简介
本规范适用于掠入射X射线反射膜厚测量仪器（以下简称仪器）的校准。
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