标准编号：YS/T 985-2014
标准名称：硅抛光回收片
英文名称：Polished reclaimed silicon wafers
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
起草单位：浙江金瑞泓科技股份有限公司、有研半导体材料股份有限公司、杭州海纳半导体有限公司、万向硅峰电子股份有限公司、上海合晶硅材料有限公司
标准状态：现行
发布日期：2014-10-14
实施日期：2015-04-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了硅拋光回收片的要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同）内容。
本标准适用于用户提供的或来源于第三方的硅回收片（主要包括100 mm, 125 mm、150 mm和 200 mm单面或双面拋光硅片、未抛光硅片或外延硅片）经单面拋光制备的硅抛光片。产品主要用于机械、炉处理、颗粒和光刻中的监控片。另外，使用方需注意硅回收片的热历史、体沾污和表面沉积物情况。
本标准适用于用户提供的或来源于第三方的硅回收片（主要包括100 mm, 125 mm、150 mm和 200 mm单面或双面拋光硅片、未抛光硅片或外延硅片）经单面拋光制备的硅抛光片。产品主要用于机械、炉处理、颗粒和光刻中的监控片。另外，使用方需注意硅回收片的热历史、体沾污和表面沉积物情况。
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