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YS/T 1031-2015 化学气相沉积炉

标准编号:YS/T 1031-2015
标准名称:化学气相沉积炉
英文名称:Chemical vapor deposition furnace
发布部门:中华人民共和国工业和信息化部
起草单位:湖南顶立科技有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所
标准状态:现行
发布日期:2015-04-30
实施日期:2015-10-01
标准格式:PDF
内容简介
本标准规定了化学气相沉积炉的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和合同(或订货单)内容。 本标准适用于化学气相沉积。
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