YS/T 1068-2015 制备钌靶用钌粉

本标准规定了磁记录及集成电路领域钌系溅射靶材用钌粉的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和合同（或订货单）内容。
本标准适用于制备磁记录及集成电路领域钌系溅射靶材用钌粉。