标准编号：YS/T 15-2015
标准名称：硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法
英文名称：Test method for thickness of epitaxial layers and diffused layers by angle lap stain
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
起草单位：南京国盛电子有限公司、有研新材料股份有限公司、上海晶盟硅材料有限公司
标准状态：现行
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了测定硅外延层和扩散层厚度的磨角染色法。 本标准适用于外延层和扩散层与衬底导电类型不同或两层电阻率相差至少一个数量级的任意电阻率的硅外延层和扩散层厚度的测量，测量范围：1μm～100μm。
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