标准编号：SJ/T 11506-2015
标准名称：集成电路用 铝腐蚀液
英文名称：Aluminum etching solution for Integrated Circuit
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
起草单位：江阴润玛电子材料股份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院
标准状态：现行
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了集成电路用铝腐蚀液（以下简称铝腐蚀液）的术语、性状、技术要求、试验方法、检验规则和包装、标志、储存、运输等。
本标准适用于集成电路用铝腐蚀液。
本标准适用于集成电路用铝腐蚀液。
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