标准编号：SJ/T 11552-2015
标准名称：以布鲁斯特角入射P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
起草单位：
发布日期：2015-10-10
实施日期：2016-04-01
标准状态：现行
标准格式：PDF
文件大小：6.26 MB
内容简介
本标准规定了以布鲁斯特角入射P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量的方法。
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SJ/T 11552-2015 以布鲁斯特角入射P偏振辐射红外吸收光谱法测量硅中间隙氧含量
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