标准编号：SJ/T 11576-2016
标准名称：喷雾式涂覆设备通用规范
英文名称：General Specification for Spray Coating Equipment
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
起草单位：沈阳芯源微电子设备有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院
标准状态：现行
发布日期：2016-01-15
实施日期：2016-06-01
标准格式：PDF
内容简介
标准主要内容包括喷雾式涂覆设备的术语和定义、技术要求（外观、安全、保护与报警功能、自动化功能、喷嘴、盒站、主轴转速、承片台等性能，胶膜厚度及均匀性）、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
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