标准编号：JB/T 8946-2010
标准名称：真空离子镀膜设备
英文名称：Vacuum ion coating plant
发布部门：工业和信息化部
起草单位：大连远东真空技术有限公司、沈阳北宇真空设备厂、沈阳真空技术研究所
标准状态：现行
发布日期：2010-02-11
实施日期：2010-07-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了真空离子镀膜设备（以下简称设备）的型式与基本参数、技术要求、设备检验及其品质评价、质量承诺以及标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于电弧蒸发离子镀膜设备；电子束蒸发离子镀膜设备；磁控溅射离子镀膜设备；上述三类离子镀膜设备的组合。其它类型的具有离子镀膜特征的设备可参照执行本标准。
本标准适用于电弧蒸发离子镀膜设备；电子束蒸发离子镀膜设备；磁控溅射离子镀膜设备；上述三类离子镀膜设备的组合。其它类型的具有离子镀膜特征的设备可参照执行本标准。
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