标准编号：JB/T 4081-2011
标准名称：真空技术 溅射离子泵
英文名称：Vacuum technology-Sputter-ion pumps
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
起草单位：北京中科科仪技术发展有限责任公司、沈阳真空技术研究所
标准状态：现行
发布日期：2011-12-20
实施日期：2012-04-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了普通型式的溅射离子泵的型式与基本参数、要求、测量方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及质量保证要求。
本标准适用于普通型式的溅射离子泵。
本标准适用于普通型式的溅射离子泵。
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