标准编号：YS/T 837-2012
标准名称：溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法
英文名称：Standard practice for ultrasonic C-sacn bond evaluation of sputtering target-backing plate assemblies
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
起草单位：有研亿金新材料股份有限公司、中国计量科学研究院、航天703所
标准状态：现行
发布日期：2012-11-07
实施日期：2013-03-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了溅射用靶材-背板结合质量超声纵波脉冲反射液浸法C扫描检验技术的一般方法。内容包括一般要求、检验设备、对比试块、检验过程、缺陷评定及检验报告等。
本标准适用于用中间层材料结合方式（如软钎焊、硬钎焊和环氧树脂粘接等）的溅射靶材-背板结合面的孔洞、未结合
本标准适用于用中间层材料结合方式（如软钎焊、硬钎焊和环氧树脂粘接等）的溅射靶材-背板结合面的孔洞、未结合
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