标准编号：JB/T 10075-2013
标准名称：冷阴极电离真空计
英文名称：Cold cathode ionization gauge
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
起草单位：沈阳真空技术研究所、安徽皖仪科技股份有限公司
标准状态：现行
发布日期：2013-12-31
实施日期：2014-07-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了冷阴极电离真空计的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装和贮存等内容。
本标准适用于测量压力大于1×10-7 Pa的潘宁型、磁控式和反磁控式冷阴极电离规管配套使用的冷阴极电离真空计。
本标准适用于测量压力大于1×10-7 Pa的潘宁型、磁控式和反磁控式冷阴极电离规管配套使用的冷阴极电离真空计。
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