标准编号：YS/T 983-2014
标准名称：多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法
英文名称：Test method for measuring composition of polysilicon deposition reactor and TCS to STC converter vent gas
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
起草单位：四川新光硅业科技有限责任公司、天威四川硅业有限责任公司、乐山乐电天威硅业科技有限责任公司、蛾嵋半导体材料研究所、陕西天宏硅材料有限责任公司、洛阳中硅高科技有限公司
标准状态：现行
发布日期：2014-10-14
实施日期：2015-04-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法。
本标准适用于改良西门子法工艺还原炉和氢化炉尾气成分（氢气、氯化氢、三氯氢硅、二氯二氢硅和四氯化硅）的测定。检测范围为体积分数0.1%〜100%。
本标准适用于改良西门子法工艺还原炉和氢化炉尾气成分（氢气、氯化氢、三氯氢硅、二氯二氢硅和四氯化硅）的测定。检测范围为体积分数0.1%〜100%。
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