标准编号：YS/T 987-2014
标准名称：氯硅烷中碳杂质的测定方法 甲基二氯氢硅的测定
英文名称：Test method for measuring carbon containing compound in chlorosilane-Determination of methyldichlorosilane
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
起草单位：四川新光硅业科技有限责任公司、乐山乐电天威硅业科技有限责任公司、东方电气集团峨嵋半导体材料有限公司、陕西天宏硅材料有限责任公司、洛阳中硅高科技有限公司、南京中锗科技股份有限公司、新特能源股份有限公司
标准状态：现行
发布日期：2014-10-14
实施日期：2015-04-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了氯硅烷中碳杂质的测定方法，主要包括三氯氢硅中甲基二氯氢硅的测定和四氯化硅中甲基二氯氢硅的测定。
本标准适用于三氯氢硅中甲基二氯氢硅的测定和四氯化硅中甲基二氯氢硅的测定。三氯氢硅、四氯化硅中甲基二氯氢硅的检测范围均为0.000 01%〜1.00%。
本标准适用于三氯氢硅中甲基二氯氢硅的测定和四氯化硅中甲基二氯氢硅的测定。三氯氢硅、四氯化硅中甲基二氯氢硅的检测范围均为0.000 01%〜1.00%。
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