标准编号：SJ 21127-2016
标准名称：化学机械抛光机通用规范
英文名称：General specification for chemical mechanical polishing equipment
发布部门：国家国防科技工业局
起草单位：中国电子科技集团公司第四十八研究所
标准状态：现行
发布日期：2016-01-19
实施日期：2016-03-01
标准格式：PDF
内容简介
本规范规定了化学机械抛光机(以下简称设备)的通用要求、质量保证规定、交货准备和说明事项。
本规范适用于微组装薄膜工艺和硅晶圆的抛光工艺中的化学机械抛光机的设计、生产、检验、验收和订购，其他微组装制造工艺设备或其他行业的类似设备也可参照执行。
本规范适用于微组装薄膜工艺和硅晶圆的抛光工艺中的化学机械抛光机的设计、生产、检验、验收和订购，其他微组装制造工艺设备或其他行业的类似设备也可参照执行。
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