标准编号：T/ZZB 0648-2018
标准名称：200 mm重掺磷直拉硅单晶抛光片
英文名称：200 mm heavily phosphorus-doped single crystalline Czochralski silicon polished wafers
发布部门：浙江省品牌建设联合会
起草单位：浙江金瑞泓科技股份有限公司、金瑞泓科技（衢州）有限公司
标准状态：现行
发布日期：2018-10-19
实施日期：2018-11-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了200 mm重掺磷直拉硅单晶抛光片的术语和定义、产品分类、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输和贮存、订货单（或合同）内容和质量承诺。
本标准适用于以电子级多晶硅为主要原材料，采用直拉法制备的直径为200 mm的硅单晶抛光片。产品主要用于集成电路、分立器件用外延片的衬底。
本标准适用于以电子级多晶硅为主要原材料，采用直拉法制备的直径为200 mm的硅单晶抛光片。产品主要用于集成电路、分立器件用外延片的衬底。
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