标准编号：T/CEMIA 006-2018
标准名称：膜厚监控用石英晶振片
英文名称：Quartz crystal resonator for film thickness contro
发布部门：中国电子材料行业协会
起草单位：唐山万士和电子有限公司、武汉海创电子股份有限公司、唐山国芯晶源电子有限公司、北京晨晶电子有限公司、江苏省东海硅产业科技创新中心
标准状态：现行
发布日期：2018-12-14
实施日期：2019-03-14
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了膜厚监控用石英晶振片的产品分类、技术要求、试验和测量方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存的要求。
本标准适用于半导体、LED、OLED、激光红外、光学镜片器材等行业镀膜用膜厚监控石英晶振片。
本标准适用于半导体、LED、OLED、激光红外、光学镜片器材等行业镀膜用膜厚监控石英晶振片。
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