标准编号：T/CEMIA 015-2018
标准名称：光纤预制棒用四氯化硅容器清洗技术规范
英文名称：Technical specification for container cleaning of silicon tetrachloride for optical fiber preform
发布部门：中国电子材料行业协会
起草单位：洛阳中硅高科技有限公司、中天科技精密材料有限公司、上海正帆科技股份有限公司、青海中利光纤技术有限公司、江苏亨通光导新材料有限公司、通鼎互联信息股份有限公司、威海长和光导科技有限公司、有研国晶辉新材料有限公司、多晶硅材料制备技术国家工程实验室
标准状态：现行
发布日期：2018-12-28
实施日期：2019-03-28
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了光纤预制棒用四氯化硅产品容器清洗的设施和材料、清洗条件、清洗及质量控制的要求。
本标准适用于光纤预制棒用四氯化硅充装容器的清洗，光纤预制棒用四氯化锗，半导体用三氯氢硅、二氯二氢硅、六氯乙硅烷等液体化工产品容器的清洗可参照使用。
本标准适用于光纤预制棒用四氯化硅充装容器的清洗，光纤预制棒用四氯化锗，半导体用三氯氢硅、二氯二氢硅、六氯乙硅烷等液体化工产品容器的清洗可参照使用。
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