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T/CSTM 00003-2019 二维材料厚度测量 原子力显微镜法

标准编号:T/CSTM 00003-2019
标准名称:二维材料厚度测量 原子力显微镜法
英文名称:Thickness measurements of two-dimensional materials Atomic force microscopy (AFM)
发布部门:中关村材料试验技术联盟
起草单位:中国计量科学研究院、北京市理化分析测试中心、广州特种承压设备检测研究院、布鲁克(北京)科技有限公司、江南石墨烯研究院、纳米技术及应用国家工程研究中心、上海交通大学分析测试中心、中国计量大学
标准状态:现行
发布日期:2019-01-03
实施日期:2019-02-01
标准格式:PDF
内容简介
本标准规定了二维材料厚度测量 原子力显微镜法的原理、仪器设备、样品前处理、测试方法、厚度计算方法、测量结果的不确定度评定及测试报告。
本标准适用于可以与基底形成台阶的二维材料厚度测量。
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