标准编号：T/CESA 1081-2020
标准名称：半导体集成电路制造业 晶圆 绿色工厂评价要求
英文名称：Assessment requirements for green factory in semiconductor integrated circuit manufacturing － Wafer
发布部门：中国电子工业标准化技术协会
起草单位：中国电子技术标准化研究院、北京赛西认证有限责任公司、中芯北方集成电路制造（北京）有限公司、中国电子信息产业发展研究院、中芯国际集成电路制造(天津)有限公司、施耐德电气（中国）有限公司上海分公司
标准状态：现行
发布日期：2020-06-20
实施日期：2020-06-20
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了半导体集成电路制造业 晶圆 绿色工厂评价（以下简称“评价”）的原则、方法、指标体系及要求、程序等。
本标准适用于对具有晶圆大小为8英寸或12英寸的半导体集成电路晶圆产品实际生产过程的工厂进行评价，其他类型集成电路产品生产制造工厂也可参考使用。
本标准适用于对具有晶圆大小为8英寸或12英寸的半导体集成电路晶圆产品实际生产过程的工厂进行评价，其他类型集成电路产品生产制造工厂也可参考使用。
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