标准编号：T/ZZB 1790-2020
标准名称：铜铟镓硒太阳能电池薄膜溅射沉积设备
英文名称：Sputter equipment for Cu-In-Ga-Se thin film solar cells
发布部门：浙江省品牌建设联合会
起草单位：浙江上方电子装备有限公司、本标准参与起草单位（排名不分）：浙江方正轻纺机械检测中心有限公司、慈溪市长信真空设备厂（普通合伙）
标准状态：现行
发布日期：2020-11-06
实施日期：2020-11-30
标准格式：PDF
内容简介
本文件规定了铜铟镓硒太阳能电池薄膜溅射沉积设备的术语和定义、结构与使用环境、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存及质量承诺。
本文件适用于铜铟镓硒太阳能电池薄膜溅射沉积设备（以下简称“设备”）。
本文件适用于铜铟镓硒太阳能电池薄膜溅射沉积设备（以下简称“设备”）。
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