T/SHXCL 0004-2021 无纺布/聚氨酯复合抛光垫

本文件规定了无纺布/聚氨酯复合抛光垫（以下简称抛光垫）的分类、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。
本文件适用于抛光垫，用于硅晶片、LCD基片及玻璃面板，蓝宝石衬底等材料的抛光，还可应用于ITO导电玻璃、玻璃基片、光掩模及LCD面罩、铍、熔融石英、磷化铟、铌酸锂、钽酸锂、不锈钢、钨、膨胀玻璃的抛光。