标准编号：T/CSTM 00537-2021
标准名称：微纳薄膜相变温度测试 光功率分析法
英文名称：Phase transition temperature measurement of micro-nano thin film -Optical power analysis
发布部门：中关村材料试验技术联盟
起草单位：华中科技大学、中国计量科学研究院、武汉嘉仪通科技有限公司、深圳中国计量科学研究院技术创新研究院、暨南大学、中国计量大学、成都理工大学、广西大学
标准状态：现行
发布日期：2021-05-11
实施日期：2021-08-11
标准格式：PDF
内容简介
本文件规定了光功率分析法测试薄膜材料相变温度的术语和定义、原理、仪器和试剂、样品处理、仪器校准、测试过程、数据处理、不确定度评定和测试报告等。本文件适用于厚度为5 nm~100 μm的薄膜材料相变温度的测试，薄膜材料应相变前后光反射率不同且在测试温区内受热不分解、不挥发。厚度大于100 μm的材料可参照执行。
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