标准编号：T/ICMTIA PC007-2021
标准名称：集成电路用氢氟酸
发布部门：中关村集成电路材料产业技术创新联盟
起草单位：中巨芯科技有限公司
发布日期：2021-05-31
实施日期：2021-07-30
标准状态：现行
标准格式：PDF
文件大小：335.80 KB
内容简介
本文件规定了集成电路用氢氟酸的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存。
本文件适用于集成电路制造过程中使用的氢氟酸。
分子式：HF
相对分子质量：20.01（按 2014 年国际相对原子质量）
本文件适用于集成电路制造过程中使用的氢氟酸。
分子式：HF
相对分子质量：20.01（按 2014 年国际相对原子质量）
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