标准编号：T/CATSI 09010-2021
标准名称：光学真空腔体洁净度检测规范
发布部门：中国技术监督情报协会
起草单位：北京大学、广东省新兴激光等离子体技术研究院、上海交通大学、北京世华尖锋科技有限公司、埃地沃兹贸易（上海）有限公司、北京中凯威科技发展有限责任公司、北京欣瑞拓科技有限公司、上海米雾环保技术有限公司、北京锐德康科技有限公司
发布日期：2021-08-25
实施日期：2021-08-25
标准状态：现行
标准格式：PDF
文件大小：590.24 KB
内容简介
第 3章 术语、定义和缩略语
为便于对标准的理解与执行，本章给出了光学真空腔体洁净度分压术语和定义和部分缩略语。
第4章 真空腔体污染物
本章主要给出了光学真空腔体污染物的类型，包括油脂、液滴、表面氧化物等。
第5章 洁净度标准
本章给出洁净级标准、超净级标准和危险级3种洁净度等级标准的要求。
第6章 检测准备
本章主要针对检测件、检测位置以及检测方法、检测仪器设备等主要环节提出相关要求。
第7章 检测与结果
本章主要给出检测原理、检测步骤、检测结果判定等要求。
附录A
附录给出了洁净度检测设备基本情况、设备参数及检测条件、腔A RGA质谱结果示例、腔B RGA质谱结果示例、腔B法拉第/倍增结果示例。
为便于对标准的理解与执行，本章给出了光学真空腔体洁净度分压术语和定义和部分缩略语。
第4章 真空腔体污染物
本章主要给出了光学真空腔体污染物的类型，包括油脂、液滴、表面氧化物等。
第5章 洁净度标准
本章给出洁净级标准、超净级标准和危险级3种洁净度等级标准的要求。
第6章 检测准备
本章主要针对检测件、检测位置以及检测方法、检测仪器设备等主要环节提出相关要求。
第7章 检测与结果
本章主要给出检测原理、检测步骤、检测结果判定等要求。
附录A
附录给出了洁净度检测设备基本情况、设备参数及检测条件、腔A RGA质谱结果示例、腔B RGA质谱结果示例、腔B法拉第/倍增结果示例。
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