标准编号：T/ZZB 2283-2021
标准名称：半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉
英文名称：Ultra-high purity graphite powder for semiconductor silicon carbide crystal
发布部门：浙江省品牌建设联合会
起草单位：中钢新型材料股份有限公司、冶金工业信息标准研究院
标准状态：现行
发布日期：2021-08-26
实施日期：2021-09-26
标准格式：PDF
内容简介
本文件规定了半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉的术语和定义、材料规格说明、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标识、包装、运输和贮存、质量承诺。
本文件适用于纯度达到5 N（99.999 wt%）以上的半导体级碳化硅单晶用石墨粉。
本文件适用于纯度达到5 N（99.999 wt%）以上的半导体级碳化硅单晶用石墨粉。
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