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T/CNIA 0017-2019 多晶硅用氯硅烷中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法

标准编号:T/CNIA 0017-2019
标准名称:多晶硅用氯硅烷中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
发布部门:中国有色金属工业协会 中国有色金属学会
起草单位:新特能源股份有限公司、新疆大全新能源股份有限公司、新疆东方希望新能源有限公司、内蒙古神舟硅业有限责任公司、宜昌南玻硅材料有限公司
发布日期:2019-02-13
实施日期:2019-06-01
标准状态:现行
标准格式:PDF
文件大小:1.34 MB
内容简介
T/CNIA 0017-2019 多晶硅用氯硅烷中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法;
多晶硅用氯硅烷中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 T/CNIA 0017-2019
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