标准编号：JB/T 13872-2020
标准名称：平面相移干涉仪
英文名称：Phase shift interferometer for flat
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
起草单位：上海光学仪器研究所、苏州慧利仪器有限责任公司、贵阳新天光电科技有限公司、上海理工大学、南京东利来光电实业有限责任公司、宁波永新光学股份有限公司、宁波湛京光学仪器有限公司、广州粤显光学仪器有限责任公司、南京江南永新光学有限公司、宁波舜宇仪器有限公司、宁波市教学仪器有限公司、梧州奥卡光学仪器有限公司、麦克奥迪实业集团公司、宁波华光精密仪器有限公司、重庆奥特光学仪器有限责任公司
标准状态：现行
发布日期：2020-04-16
实施日期：2021-01-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了平面相移干涉仪的术语和定义、型式与基本参数、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于利用微位移机构检验光学平面的面形偏差和平面平晶平面度的平面相移干涉仪。
本标准适用于利用微位移机构检验光学平面的面形偏差和平面平晶平面度的平面相移干涉仪。
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