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SJ 21265-2018 MEMS 陀螺仪参数标定工艺技术要求

标准编号:SJ 21265-2018
标准名称:MEMS 陀螺仪参数标定工艺技术要求
英文名称:Technical requirements for MEMS gyroscope calibration process
发布部门:国家国防科技工业局
起草单位:中国电子科技集团公司第十三研究所
标准状态:现行
发布日期:2018-01-18
实施日期:2018-05-01
标准格式:PDF
内容简介
本标准规定了MEMS陀螺仪制造过程中的人员、环境、安全、设备和仪器的一般要求,以及工艺流程、工艺准备和参数标定的详细要求。
本标准适用于MEMS陀螺仪制造过程中的零偏、标度因数、零偏温度灵敏度和标度因数温度灵敏度的标定。
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