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YS/T 1234-2018 铬钼合金(CrMo)靶材

标准编号:YS/T 1234-2018
标准名称:铬钼合金(CrMo)靶材
英文名称:Chrome-molybdenum alloy target
发布部门:中华人民共和国工业和信息化部
起草单位:宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、合肥江丰电子材料有限公司
标准状态:现行
发布日期:2018-04-30
实施日期:2018-09-01
标准格式:PDF
内容简介
本标准规定了工具薄膜用铬钼合金靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存和质量证明书及订货单(或合同)内容。
本标准适用于工具薄膜制造用的各类铬钼合金靶材。
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