标准编号：SJ 20514A-2018
标准名称：微波功率晶体管用硅外延片规范
英文名称：Specification for silicon epitaxial wafer for microwave power transistor
发布部门：国家国防科技工业局
起草单位：中国电子科技集团公司第十三研究所、河北普兴电子科技股份有限公司
标准状态：现行
发布日期：2018-12-29
实施日期：2019-03-01
标准格式：PDF
内容简介
本规范规定了微波功率晶体管用硅外延片(以下简称外延片)的要求、质量保证规定、交货准备和说明事项。
本规范适用于微波功率晶体管用直径为76.2mm～200mm的同质外延版的设计、制造、检验，其它半导体分立器件同质外延片也可参照执行。
本规范适用于微波功率晶体管用直径为76.2mm～200mm的同质外延版的设计、制造、检验，其它半导体分立器件同质外延片也可参照执行。
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