标准编号：SJ 20717A-2018
标准名称：氧化锌压电薄膜规范
英文名称：Specification for piezoelectric zinc oxide films
发布部门：国家国防科技工业局
起草单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所
标准状态：现行
发布日期：2018-12-29
实施日期：2019-03-01
标准格式：PDF
内容简介
本规范规定了氧化锌((Zn0)压电薄膜(以下简称压电薄膜)的要求、质量保证规定和交货准备等。
本规范适用于军用声体波微波延迟线(BAWDL)、声表面波((SAW)滤波器、声光偏转器及薄膜声体波谐振器（FBAR）用层状氧化锌压电薄膜复合材料。
本规范适用于军用声体波微波延迟线(BAWDL)、声表面波((SAW)滤波器、声光偏转器及薄膜声体波谐振器（FBAR）用层状氧化锌压电薄膜复合材料。
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