标准编号：SJ 20844A-2018
标准名称：半绝缘砷化稼单晶微区均匀性测试方法
英文名称：Test method for microregion homogeneity of semi-insulating monocrystal gallium arsenide
发布部门：国家国防科技工业局
起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所
标准状态：现行
发布日期：2018-12-29
实施日期：2019-03-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了半绝缘砷化镓单晶微区电阻率、碳浓度、EL2浓度和PL谱等均匀性测量方法。
本标准适用于半绝缘砷化镓单晶微区电阻率、碳浓度、EL2浓度和PL谱等均匀性的测试。
本标准适用于半绝缘砷化镓单晶微区电阻率、碳浓度、EL2浓度和PL谱等均匀性的测试。
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