标准编号：SJ 21534-2018
标准名称：微波功率器件用氮化镓外延片规范
英文名称：Specification of gallium nitride epitaxial wafer for microwave power transistor
发布部门：国家国防科技工业局
起草单位：中国电子科技集团公司第五十五研究所
标准状态：现行
发布日期：2018-12-29
实施日期：2019-03-01
标准格式：PDF
内容简介
本规范规定了微波功率器件用氮化镓外延片(以下简称氮化镓外延片)的技术要求、质量保证规定、交货准备等内容。
本规范适用于微波功率器件用氮化镓高电子迁移率晶体管(GaN HEMT)外延片，也适用于微波单片集成电路用GaN HEMT外延片。
本规范适用于微波功率器件用氮化镓高电子迁移率晶体管(GaN HEMT)外延片，也适用于微波单片集成电路用GaN HEMT外延片。
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