T/XAI 12-2021 覆晶薄膜基板电气检查测试方法

本文件规定了覆晶薄膜基板电气测试原理、测试条件、测试方法、测试结果评定和测试报告等要求，描述了电气检查测试过程，给出了测试结果要求。本文件适用于覆晶薄膜基板的电气检查。