标准编号：T/IAWBS 016-2022
标准名称：碳化硅单晶片 X 射线双晶摇 摆曲线半高宽测试方法
发布部门：中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟
起草单位：国宏中宇科技发展有限公司、中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、中科钢研节能科技有限公司、北京天科合达半导体股份有限公司、中国科学院物理研究所、北京三平泰克科技有限责任公司、北京聚睿众邦科技有限公司、芜湖启迪半导体有限公司、中国科学院半导体研究所
发布日期：2022-03-17
实施日期：2022-03-24
标准状态：现行
标准格式：PDF
文件大小：1.50 MB
内容简介
本文件规定了利用双晶 X 射线衍射仪测试碳化硅单晶片摇摆曲线半高宽的方法。本文件适用于物理气相传输及其它方法生长制备的碳化硅单晶片。本文件适用于在室温下碳化硅单晶片的正晶向和偏角度的摇摆曲线检测。
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