标准编号：SJ/T 11451-2013
标准名称：扩散炉能源消耗规范
英文名称：Specification for energy consumption norm of diffusion furnace
发布部门：工业和信息化部
起草单位：北京七星华创电子股份有限公司、信息产业部节能监测中心
标准状态：现行
发布日期：2013-10-17
实施日期：2013-12-01
标准格式：PDF
内容简介
规定了扩散炉能源消耗指标、计算原则、计算方法和评价原则。
本标准适用于电子行业各企业元器件生产运行中的工作温度在400℃〜1350℃的扩散/氧化、退火、合金工艺使用的扩散炉。
本标准适用于电子行业各企业元器件生产运行中的工作温度在400℃〜1350℃的扩散/氧化、退火、合金工艺使用的扩散炉。
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