标准编号：YS/T 1392-2020
标准名称：氯硅烷组分含量的测定 气相色谱法
英文名称：Determination of thecontent of chlorosilane components—— Gas chromatographic method
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
起草单位：江苏中能硅业科技发展有限公司、新疆协鑫新能源材料科技有限公司、亚洲硅业（青海）股份有限公司、新特能源股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、江苏鑫华半导体材料科技有限公司、江苏赛夫特半导体材料检测技术有限公司、雅波拓（福建）新材料有限公司
标准状态：现行
发布日期：2020-12-09
实施日期：2021-04-01
标准格式：PDF
内容简介
本标准规定了气相色谱法测定多晶硅生产用氯硅烷中各组分含量的方法。
本标准适用于多晶硅生产用氯硅烷中各组分含量的测定。测定范围（体积分数）：二氯二氢硅为0.01 %～20 %，三氯氢硅、四氯化硅为0.01 %～100 %。
本标准适用于多晶硅生产用氯硅烷中各组分含量的测定。测定范围（体积分数）：二氯二氢硅为0.01 %～20 %，三氯氢硅、四氯化硅为0.01 %～100 %。
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