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HG/T 5962-2021 硅片切割废液处理处置方法

标准编号:HG/T 5962-2021
标准名称:硅片切割废液处理处置方法
发布部门:中华人民共和国工业和信息化部
起草单位:
发布日期:2021-08-21
实施日期:2022-02-01
标准状态:现行
标准格式:PDF
文件大小:2.16 MB
内容简介
本文件规定了硅片切割废液(浆)的组成、处理处置方法、环保排放要求。
本文件适用于硅片切割生产线产生的切割废液(浆)的处理处置。
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