标准编号：T/GVS 007-2022
标准名称：射频电源动态阻抗测试方法
英文名称：Test method for dynamic impedance of RF generator
发布部门：广东省真空学会
起草单位：深圳市恒运昌真空技术有限公司、广东工业大学、大连理工大学、拓荆科技股份有限公司
标准状态：现行
发布日期：2022-07-11
实施日期：2022-07-11
标准格式：PDF
内容简介
本文件规定了射频电源动态阻抗测试方法的术语和定义、原理、测试环境条件、仪器设备、测试方法、测试报告。本文件适用于半导体刻蚀、薄膜沉积等应用场合中，输出频率0.2 MHz～100 MHz的射频电源动态阻抗测试。
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