标准编号：JJF 2009-2022
标准名称：半导体参数精密分析仪校准规范
英文名称：Calibration Specification for Semiconductor Parameters Precision Analyzers
发布部门：国家市场监督管理总局
起草单位：中国电子技术标准化研究院
标准状态：现行
发布日期：2022-12-07
实施日期：2023-06-07
标准格式：PDF
内容简介
本规范适用于电压测量范围±(0.1 V～3 000 V)、电流测量范围±(1 pA～1 500 A)的半导体参数精密分析仪的校准。
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