标准编号：T/SCS 000024-2023
标准名称：高导热氮化硅陶瓷基片
英文名称：High thermal conductivity silicon nitride substrate
发布部门：上海市硅酸盐学会
起草单位：浙江多面体新材料有限公司，中国科学院上海硅酸盐研究所，浙江德汇电子材料有限公司，江苏宏微科技股份有限公司，基本半导体（无锡）有限公司
标准状态：现行
发布日期：2023-01-31
实施日期：2023-02-28
标准格式：PDF
内容简介
本文件规定了高导热氮化硅陶瓷基片的产品标记、技术要求、检验方法、检验规则、包装、运输与贮存。
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