标准编号：T/BEA 40002-2022
标准名称：微波ECR等离子体发生器校准规范
英文名称：Calibration Specification for Microwave ECR Plasma Generator
发布部门：北京电子仪器行业协会
起草单位：北京东方计量测试研究所
标准状态：现行
发布日期：2022-01-18
实施日期：2022-02-09
标准格式：PDF
内容简介
本标准适用于真空环境下使用的新制造（或新购置）和修理后的微波ECR等离子体发生器等离子体参数的校准和周期性校准。
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