标准编号：HG/T 5895-2022
标准名称：工业用混合气体 硅烷/氮气
英文名称：Mixed gas used for industry—Silane in nitrogen
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
起草单位：广东华特气体股份有限公司、昊华气体有限公司西南分公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、杭州新世纪混合气体有限公司、大连大特气体有限公司、北京氦普北分气体工业有限公司、武汉钢铁集团气体有限责任公司、福建久策气体股份有限公司、上海申南特种气体有限公司、南通市金通气体有限公司
标准状态：现行
发布日期：2022-09-30
实施日期：2023-04-01
标准格式：PDF
内容简介
本文件规定了工业用氮中硅烷混合气体的制备方法、试验方法，确立了检验规则，规定了混合气体的技术要求、标志、包装、储存及安全信息的要求。
本文件适用于由电子工业用硅烷和高纯氮（或超纯氮）为原料制备的混合气体。
本文件适用于由电子工业用硅烷和高纯氮（或超纯氮）为原料制备的混合气体。
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